Lernwirksame Seminare entwickeln und durchführen. Ein didaktisches Praxisbuch für Ein- und Umsteiger |Harald GroßÉpuisé4,3Prévenez-moi
Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-LithographieHarald GroßÉpuisé4,3Prévenez-moi