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Untersuchungen zu den Mechanismen des heteroepitaktischen Wachstums von kubischem Siliciumkarbid auf Silicium aus Methyltrichlorsilan

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Untersuchungen zu den Mechanismen des heteroepitaktischen Wachstums von kubischem Siliciumkarbid auf Silicium aus Methyltrichlorsilan, Jens Hofmann

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1998
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