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Das Hohlkathoden-Gasflußsputtern ist ein neuartiger, kostengünstiger Sputterprozeß, der am Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik entwickelt wurde. Die Arbeit vermittelt ein tieferes Verständnis dieses Prozesses. So werden Substraterwärmungsmechanismen, Schichtwachstumsbedingungen, Schichteigenschaften und Beschichtungskosten analysiert und mit etablierten Beschichtungsverfahren verglichen. Für den Verschleißschutz von Kunststoffen wurde ein Prozeß zur Abscheidung von titanhaltigen Kohlenwasserstoffschichten entwickelt, optimiert und erfolgreich eingesetzt.
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Hohlkathoden-Gasflußsputtern zur Verschleißschutzbeschichtung von Kunststoffen, Tobias Kälber
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- 1998
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