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In dieser Arbeit wurden die zwei p-leitenden TCOs CuAlO2 und CuCrO2 auf Basis der Delafossitstruktur untersucht. Ihre Anwendungen liegen in der transparenten Elektronik, um vollständig oxidische Halbleiter-Bauelemente zu realisieren. Beide Materialien wurden im Sputterverfahren abgeschieden und anschließend getempert. Die prinzipielle Einsetzbarkeit in vollständig oxidischen Bauteilen ließ sich mit einer transparenten CuCrO2-ZnO: Al-Diode nachweisen.
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Herstellung und Untersuchung p-leitender transparenter CuAlO-2- und CuCrO-2-Schichten, Christina Schulz
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- 2014
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