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Mechanics of Microelectromechanical Systems

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This book provides an in-depth analysis of microelectromechanical systems (MEMS) from a mechanical engineering perspective. It explores energy transformation in MEMS, offering tools for modeling and designing microsystems. The work includes analytical and simplified formulas for flexible components and examines actuation/sensing methods with practical examples.

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Mechanics of Microelectromechanical Systems, Ephrahim Garcia, Nicolae Lobontiu

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Année de publication: 2004
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Titre: Mechanics of Microelectromechanical Systems
Langue: Anglais
Auteurs: Ephrahim Garcia, Nicolae Lobontiu
Éditeur: Springer / Springer Netherlands / Springer US
Publié: 2004
Format: rigide
ISBN13: 9781402080135
Mots clés: Manuels, Technologie / Ingénierie, Manuels de lycée
Évaluation: 4 sur 5
Description: This book provides an in-depth analysis of microelectromechanical systems (MEMS) from a mechanical engineering perspective. It explores energy transformation in MEMS, offering tools for modeling and designing microsystems. The work includes analytical and simplified formulas for flexible components and examines actuation/sensing methods with practical examples.