Herstellung von nanoporösem Silizium

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Die Untersuchung fokussiert sich auf die Eigenschaften poröser Siliziumschichten, die durch silberverstärktes chemisches Ätzen von p-Si in einer HF/HNO3-Lösung entstehen. Die Ergebnisse zeigen, dass die Konzentration der Ag-Ionen sowie die Ätzmittelkonzentrationen und die Ätzzeit entscheidend sind. SEM-Analysen belegen eine gleichmäßige Abscheidung von Silberionen bei optimalen Bedingungen, während Impedanzdaten eine erhöhte Si-Auflösung mit steigenden Konzentrationen zeigen. Zudem wurde festgestellt, dass das Ag nach dem Ätzen vollständig in der Lösung gelöst ist, was die Effizienz des Verfahrens unterstreicht.