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Focusing on the structural and electronic properties of strained epitaxial layers, this book delves into the thermodynamics and kinetics involved in layer growth. It offers detailed insights into various growth techniques, including metalorganic vapor phase epitaxy, molecular beam epitaxy, and liquid phase epitaxy, making it a comprehensive resource for understanding these advanced methods in materials science.
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Epitaxy of Semiconductors, Udo W. Pohl
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